近年来，随着使用机床的发展，超精切削用金刚石刀具的应用范围也在不断扩展。该刀具的传统应用领域主要是激光反射镜、红外透镜的加工，以及用于制作类似DVD信号检出探头透镜的塑料透镜注射模的加工。此外，近年来超精三维轮廓加工用铣刀已应用于微加工机床和生物医学领域。本文介绍了当今世界上最小的微纳米级成形刀具，特别是半径仅为30微米的球头立铣刀，它们能满足上述加工要求。
金刚石作为切削刀具材料具有最优异的性能如它的硬度、热导性以及锋利刃口的成形性。超精金刚石切削刀具就利用了这